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激光划线主要工序

P1激光刻蚀:在透明导电电极 TCO 沉积后,和电荷传输层沉积前,进行激光刻蚀,以形成彼此独立的条形导电电极;

P2激光刻蚀:在第二电荷传输层沉积后,底电极沉积之前,进行激光刻蚀,去除 HTL/钙钛矿层/ETL,留下TCO层,形成一个空缝。进行底电极层沉积时金属会填满这个空缝,从而将一个电池的底电极与下一个电池的透明顶电极相连;

P3激光刻蚀:去除相邻电池的底电极/HTL(空穴层)/钙钛矿层/ETL(电子 层),留下 TCO 层,从而实现分离效果;

P4清边:去除薄膜的边缘区域,利用激光划线划分出区域后进行清除。

解决方案

Total Solution

激光是钙钛矿工艺标配设备

激光划线和清边是钙钛矿制备过程中的必须工序。钙钛矿产业化应用需 要解决制备大面积组件所面临的电阻提高等问题,主要解决方向是通过将电池以串联或者并联的方式制作组件来降低电阻,其中串联是钙钛矿的主要应用方式。

在形成钙钛矿电池的串联结构时需要对不同的功能层在不同的位置进行划线。功能层的划线可以通过掩膜版、化学蚀刻、机械或者激光划线完成。

激光划线可以产生更细的划线区域,目前激光划线已逐渐取代其他划线方法成为主要的划线方法,同时激光设备还可以应用于钙钛矿的膜层清除工序环节。

主推设备

Major Equipment

薄膜太阳能组件激光划线实验系统

设备介绍:本设备为薄膜太阳能专用试验线,适合CIGS、 碲化镉、钙钛矿、ITO/TCO以及BIPV的划线、切割。

应用领域:各大高校、科研院所及初创公司

设备优势:

1、大理石平台:稳定承载,耐腐蚀;

2、直线电机模组,速度快,精度高;

3、双光路设计结构,满足定制化要求。

薄膜太阳能组件P4激光清边系统

设备介绍:本设备适用于各种薄膜太阳能电池去除薄膜的边缘区域,利用激光划线划分出区域后进行清除。

应用领域:各大高校、科研院所及初创公司

设备优势:

1、高功率纳秒红外激光,定制化的光斑整形,可有效提高清边效率;

2、自主设计的加工系统,操作简单、方便快捷;

3、精密的集尘设计,巧妙解决烟尘问题。

薄膜太阳能组件激光划线量产系统

设备介绍:本设备为薄膜太阳能专用量产线,适合碲化镉、钙钛矿电池P0打标、P1-P3划线、P4清边的自动化设备。

应用领域:兆瓦线、G瓦线等量产客户

设备优势:

1、高产能:超快激光,配备至少8路加工光束,单机产能超过150MW;

2、高精度:拥有多项独有“秘密科技”,刻划精度<±10um,死区可控制在130um以内;

3、高可靠度:独特的设计理念,设备稼动率超过98%。